電子廠廢氣治理按照其處理工藝可分為：酸性廢氣處理、堿性廢氣處理、有機廢氣處理和一般排氣等；其廢氣處理系統包括：酸性廢氣處理設備、堿性廢氣處理設備、有機廢氣處理設備等；酸、堿廢氣處理設備有，洗滌塔（又名噴淋塔、吸收塔）；有機廢氣處理設備有：活性炭吸附裝置，直燃式熱氧化廢氣焚燒爐等。